




场发射扫描电子显微镜(SEM),是一种用于高分辨形貌观察的大型精密仪器。它具有大景深、高分辨率、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽,以及待测样品可在三维空间内旋转和倾斜等特点。此外,SEM的优势还包括可测样品种类丰富、几乎不损伤和污染原始样品,以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等。
样品要求
样品形态要求:粉末、液体、薄膜、块体均可测试
粉末样品要求:样品量需要提供大概10mg
液体样品要求:样品量大于300ul(溶剂和溶液不能发生反应)液态或粘稠样品务必烘干寄样,如电子束照射下流动变形,则无法拍摄
块体/薄膜样品要求:长宽小于10mm,厚度小于10mm,样品质量不超过200g
混凝土,珊瑚沙,气凝胶等需要抽真空时间非常长的样品要求:尺寸请尽可能直径小于5mm,厚度小于5mm
需要脆断的样品要求:尺寸需要大于2*2cm,厚度小于0.5cm,较厚的样品建议尺寸准备大些
制样要求
1、粉体样品,常规粉末直接粘到导电胶上测试,如需分散后测试请提前说明
2、液体样品,测试老师根据样品要求及实验室条件,随机选择滴到硅片或铝箔上,如有指定要求请提前说明
3、薄膜或块体,请标明测试面,如需测试截面,请自行自备截面或提前说明截面制备方式。
其他要求
1、样品含水,湿润是不能做SEM的;样品需干燥后进行测试
2、易分解样品需明确分解条件(如温度等),若样品极易分解可能不能安排测试,因为分解后产生物质可能对测试仪器造成影响;
3、水凝胶等易吸潮样品寄样前请先确认样品暴露 4-5h 内是否会出现明显的吸潮现象,测试过程中样品吸潮会影响拍摄的同时也会对仪器造成损伤;
4、关于喷金:导电性差及磁性样品为保证拍摄效果,建议喷金(为避免能谱测试元素干扰请选择合适的电极类型)
5、要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。
6、磁性说明:含铁、钴、镍、锰等磁性元素均视为磁性样品(吸铁石能吸起来为强磁,吸铁石吸不起来为弱磁)。若样品有磁性,务必备注清楚;若隐瞒样品实际信息,导致设备损坏,需承担全部赔偿责任


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SEM的倍数和标尺是对应的吗?
没有一个准确的对应关系,各仪器软件的对应各不相同,主要取决于仪器软件,给要求的时候只能限制一个关系。
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磁性样品会对电镜的影响?
电子枪发射出的电子,一般都是由磁场汇聚,当样品含有磁性的时候很容易磁化电镜的"心脏"部件-极靴,同时容易吸附到极靴表面或光学通道上,因此磁性样品的测试可能会给电镜带来损害,承接磁性样品的检测单位也需要去承担相应的风险。
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SEM-EDS与XPS测试时采样深度的差别?
XPS采样深度为2-10nm,EDS采样深度大约1um。

