电子背散射衍射（EBSD）是一种基于扫描电子显微镜（SEM)），提供样品显微结构晶体学信息的技术。在EBSD中，电子束与倾斜的晶态样品相互作用，形成衍射花样。衍射花样可以通过荧光屏探测到，它具有所产生处样品的晶体结构和取向特征。因此，衍射花样可用来确定晶体结构及取向、区分晶体上不同的相、表征晶界、和提供有关局部结晶完整性的信息。

样品要求

形状规整，尺寸不易太大，长：<8mm，宽<8mm，厚度<3mm左右，测试面需要表面光滑，没有明显划痕。
若尺寸较大，请提前线切割好，若需要我们线切割，请联系您专属技术顾问（过大的尺寸会使得样品距离探头较远以及WD较高，导致解析率降低，也会大大增加EBSD处理时"飘”的概率）
测试样品要导电，镶嵌的样品可以通过导电胶连接基座来处理，不导电的试样需要喷金或喷碳；电解抛光、震动抛光及氙离子抛光之前均需进行机械抛光
下单后请将做EBSD时需要的物相信息告诉我们，我们提前检查库中是否有这些相信息，若没有则需提供物相的晶格信息或cif文件
下单前请将样品的状态(退火态、变形态、固溶态等)向技术顾问说明，技术顾问会根据实际情况推荐适合的制样方式，变形态的材料制样难度较高，不保证一次成功，具体收费方案请询问您的技术顾问
测试面需要标记清楚，如需要特殊区域定位，请附上SEM图片或者光学图片给出具体定位信息；寄送样品请固定好样品，测试面不要触碰到任何表面，避免表面划伤！！！

在裂纹钢铁样品中，用不同的EBSD花样质量，采集的EBSD面分布图
左：高角度精度面分布图，展示了裂纹尖端的塑性应变分布（KAM 图），采集自高分辨率、高剂量的花样
右：高速采集（3355点/秒）的相分布面分布图，采集自低分辨率、低剂量花样。