纳米压痕测试是将准静态或动态载荷-时间信号施加到已知形状的金刚石压头（较为常见）上，垂直压入试样表面 ，通过测量相应的位移-时间的变化（记录载荷-位移数据），根据经典物理模型（O-P模型，Oliver-Pharr），对获得的数据进行处理可以推导出材料的力学性质，如：杨氏模量、硬度、断裂韧性、蠕变等特性。