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白光干涉仪
仪器型号：
Bruker Contour GT-K 3D、Mahr MarSurf LD130、KLA Tencor-Micro XAM，zygo Newview 7100，Rtec-UP-2000，RTEC UP2000等
预约次数：478次
服务周期：7个工作日
项目介绍白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）通过将白光照射到样品表面，然后测量反射光与参考光之间的相位差来确定样品表面的微小高度变化，主要测试样品表面的三维形貌图，包括高度、粗糙度和坡度等信息。
样品要求
块体尺寸50*50*50mm以下均可；需测磨痕时请告知技术顾问磨痕长宽数据
可以测凹坑深度，凹坑直径范围，膜厚度等
注意：黑色、透明样品不能测试；要求样品有一定反光性；每个样品默认一个测试位置；弧面测试一般没有粗糙度数据。
结果展示
常见问题-
白光干涉仪的测试原理是什么？
白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在 CCD 相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在 CCD 相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。
技术顾问
赵工 15757137609
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