白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）通过将白光照射到样品表面，然后测量反射光与参考光之间的相位差来确定样品表面的微小高度变化，主要测试样品表面的三维形貌图，包括高度、粗糙度和坡度等信息。

1.样品要求：块体尺寸50*50*50mm以下均可；需测磨痕时请告知技术顾问磨痕长宽数据；

2.可以测凹坑深度，凹坑直径范围，膜厚度等；

3.注意：黑色、透明样品不能测试；要求样品有一定反光性；每个样品默认一个测试位置；弧面测试一般没有粗糙度数据。