台阶仪主要是对薄膜材料常规性能的厚度进行检测。它广泛应用于太阳能薄膜材料、半导体硅片、微电子器件、薄膜化学涂层、平板显示器等研究领域。在新型薄膜材料的开发研究工作上极为重要。

当台阶仪的触针在被测的物体表面轻轻滑过时，被接触的物体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此表面轮廓的情况在一定程度上就被触针的运动情况所体现出来。