X射线光电子能谱（XPS）是一种表面分析技术，它使用具有一定能量的X射线照射固体样品，光子被吸收后将其能量转移给原子的电子，电子获得能量后发射出来成为光电子，测量从材料表面发射出的光电子的能量来确定样品的化学成分和元素的化合状态，同时还可以进行半定量分析和深度剖析。

样品要求

粉末样品：20-30mg
块状、薄膜样品：块体/薄膜样品尺寸小于5*5*3mm（如果样品尺寸大于5*5*3mm，会按尺寸增加费用，超过尺寸样品/液体（含离子液体）等样品请预约原位XPS）
特别注意
1、测试说明：原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号！元素窄谱测试默认测最强峰轨道，H、He元素不可以测试，放射性元素请提前沟通。如有特殊要求请备注。
2、我们默认给测试的原始数据，所有数据不矫正，（因不同的材料矫正方法不同），不平滑。
3、测试位置数量：默认是一个样品测试一个位置，需要测试多个位置按照多个样品计费。薄膜、块体等样品，若样品表面组分不均匀，会造成测试结果的差异。
4、使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰，当有重叠谱峰的时候直接定量PEAK TABLE的结果不能参考，常见重叠谱峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL等。
5、样品包装要求：样品制备好以后，尽可能进行真空密封，减少样品吸附空气中的污染物，对于某些元素的测试，比如常见的C、O，会有影响
6、请知晓：XPS设备分辨率小于等于0.5eV，即重复测试同样品同位置有0.5eV偏差是合理现象。
7、如需特殊事项，请备注留言，如数据格式（默认赛默飞VGD格式-软件Avantage，岛津VMS格式-软件Casa，PHI-SPE格式-软件Multipak），靶材，默认测试使用Al靶。

测试结果中包括原始数据，有SPE或VGP或VGD或VMS和EXCEL数据包，具体格式与设备有关。