HRXRD是一种基于XRD的一种新型测试模式，广泛用于单晶质量、外延薄膜的厚度、组分、晶胞参数、缺陷、失配、弛豫、应力等结构参数的测试。

样品要求：

样品尺寸要求：厚度小于3mm ，长宽1x1mm²以上，不同尺寸价格不同，长宽4x4mm²以上不需要加价。

薄片材料，测量面平整，厚度测量要求薄膜与衬底电子密度有明显差别且粗糙度尽量小。