电感耦合等离子体（ICP）是用于原子发射光谱和质谱的主要光源，以ICP为中心，在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元)，形成了多元素分析系统。用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度高等优点。
ICP-AES利用的是原子发射光谱进行定性定量分析；ICP-MS利用的是离子质谱，采用质荷比不同而进行分离检测。两者可分析的元素基本一致，不过由于分析检测系统的差异，两者的检测限有差异：ICP-MS的检测限很低，可以达到ug/(ppb)的水平：而ICP-AES一般是mg/(ppm)的级别。不过ICP-MS只能分析固体溶解量为0.2%左右的溶液(因此经常需要稀释)，而ICP-AES则可以分析固体溶解量超过20%的溶液。

样品要求

未做好前处理的固体样品要求
粉体、块体均可测试，需选择前处理方式
粉未样品200mg以上，请自己提前研磨细碎，有条件可以过200目筛 块体尽量制备成小薄片或小碎屑，厚度尽量小于1mm，长*宽*高不超过5*5*2mm，重量200mg以上(石墨样至少送2g以上)
已经做好前处理的溶液样品要求
提供10mL澄清溶液，中性偏酸性或者酸性溶液且不含F离子（酸浓度控制在5%以下，H酸溶解不可以直接测试需要将F离子挥发完，已消解好的也需要稀释），不含有机物，溶剂为水；建议溶液样品一般过0.45膜，液体样品盖好盖子后，务必用封口膜封好，防止漏液。
样品量最好在200mg以上，质量少可以测试，但称量可能引入系统误差；液体样品，应注明主要成分（何种溶剂、pH值、酸的浓度）酸度ICP-AES可控制在10%以内，ICP-MS控制在5%以内为宜；应尽可能注明样品的主要成份及待测元素的估计含量或者含量范围
ICP的进样浓度一般都在ppm级别，样品待测含量过高（大于20%），就要稀释较高倍数才能进样测试，可能会导致一些测试误差(10%以内的误差)，因此高含量可以选择XRF进行测试。