辉光放电质谱是利用辉光放电源作为离子源与质谱仪联接进行质谱测定的一种分析方法。可得到元素半定量数据。

将辉光放电离子源和高分辨率质谱仪结合，主要应用于高纯度无机固体材料的成分分析，可以一次扫描即可测量从锂（Li）到铀（U）之间所有元素成分。

样品尺寸：直径2cm左右，厚度0.5-2cm；表面平整光滑，相当于用1000目的砂纸磨过的平整度（粗造度不大于3）
粉末大于2g，粒度尽量小，能压制成片状，且满足块体样品的尺寸要求
GD-MS是一种微型破坏性测试，溅射直径8mm，溅射深度一般为几微米到几十微米，纳米级薄膜材料测试有风险