电子探针全称电子探针X 射线显微分析仪，英文简称为EPMA，主要用途是透过显微观察固体物质的特性，与扫描电镜一样同属微束分析仪器的一种，已逐渐被实验室作为通用分析仪器之一。其优点在于能够观察样品表面的形貌特征、进行微区成分的相关分析等，实现对材料的定性、定量、线、面等分析。除此之外，电子探针还能够对样品表面呈现的二次电子像、X-ray 像、吸收电子像、背散射电子像等进行观察和分析。

样品要求

1、样品状态：粉末、薄膜、块体均可（样品性质稳定无毒，电子束轰击时不能挥发、易燃易爆等；有机高分子材料与强磁粉末不可上机）。

2、粉末样品：

（1）表征粉末表面：至少提供20mg样品。

（2）表征粉末内部：需要与项目经理沟通确认。

3、 块体样品：直径≤20mm，高度≤10mm；样品上下表面平行，待测面需打磨并机械抛光，保证样品表面的平整度；合金或复合材料等偏析明显的材料不需要腐蚀，部分材料如果没有明显偏析，可轻微腐蚀出晶界后进行测试；待测样品区域在样品边缘；样品尺寸过大，提前和技术老师联系沟通

4、具有较好的电导和热导性能：金属材料一般具有较好的导热/导电性能，而硅酸盐材料和其他非金属材料一般导热/导电性都较差，通常在这类材料表面均匀喷镀一层20~400 Å的碳膜或铝膜来增加样品表面的导热/导电性；

5、样品表面光滑平整：样品表面必须抛光，保证其清洁平整，若样品表面凸凹不平则可能使射出的X射线受到不规则的吸收。