电子探针（Electron Probe Micro-Analyzer, EPMA）是一种高分辨率的显微分析技术，它利用聚焦的电子束与样品相互作用产生的特征X射线来分析样品的化学成分，当高能电子束撞击样品表面时，样品原子的内层电子会被击出，产生空位，外层电子跃迁填补这些空位时会发射出特征X射线，这些X射线的能量与发射它们的元素种类有关，因此可以定性和定量分析样品中的元素成分。

1.测试内容：波谱点扫、线扫、面扫；

2.样品要求：粉末、薄膜、块体均可（样品性质稳定无毒，电子束轰击时不能挥发、易燃易爆等；有机高分子材料与强磁粉末不可上机）。块状样品：长宽或直径不超过30mm，厚度不超过15mm；

3.特别注意：样品上下表面平行，测试面务必抛光，保证样品表面的平整度；不导电样品需要喷金或喷碳；最好标记好分析面上的测试点，未标记测试位置，测试时只选有代表性、较平整位置测试；

4.请务必仔细检查您的样品，若发现以弱磁强磁充当非磁或者以强磁充当弱磁非磁，我们将可能无法安排您的实验，不承担以此造成的时间和样品损失；而且因隐瞒样品信息导致仪器损坏，需要您承担全部赔偿责任！！！