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椭偏仪
仪器型号:
HORIBA France SAS,M-2000V,Accrion/Nanofilm EP4SE,J.A. Woollam RC2等
预约次数:
1572次
服务周期:
7个工作日
项目介绍

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、n(折射率),k(消光系数)以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。

 

样品要求

1、可测试:块状、薄膜;大小无特殊要求
2、单层膜样品,没有基底,膜厚越厚越好,最好500um以上
3、有基底的膜层结构要做折射率和消光系数,基地厚度要求越厚越好,膜层厚度要在10um以下
4、膜层需为透明薄膜且膜层表面均匀,基底不需要透明;确保被测表面光滑,测试时能有反射光束被接收,否则测不了。送样前可以通过激光笔照射样品表面,能观察到有反射光束方可
5、如果被测样品是透明块体(不是膜),底面需要经过打磨成毛玻璃状,防止反射光
6、确保被测区域面积大于5mm2
7、有基底的样品需提供一份空白基底方便拟合。基底若需要单独测试,请在备注中说明,否则会选用数据库中的基底数据进行分析。基底测试需要收取一定的费用,具体和您专属技术顾问沟通
8、特殊情况请提前和您专属技术顾问沟通

结果展示

测试结果给出的是图片格式和txt格式测试结果(不同仪器会有差异,以实际结果为准)

常见问题
  • 椭偏仪适用于哪些材料的测试?

    椭偏仪适用于无机材料,样品有一定透光性。

  • 关于测试光谱范围的选择?

    椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如,掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响,因此需要能测量红外波段的椭偏仪;薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜,到达基底,然后并被探测器检测到,因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段;对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。

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赵工 15757137609
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