X射线荧光光谱（X-ray Fluorescence Spectroscopy, XRF）是基于荧光效应，当材料被X射线照射时，原子内层的电子会被激发到更高能级，当这些电子回落到低能级时，会发射出特征X射线，这些X射线的能量与发射它们的元素种类有关。XRF能够分析从轻元素（如钠）到重元素的广泛元素范围，包括金属、非金属以及某些稀土元素。作为一种非破坏性分析方法，XRF不会改变或损害被测样品的物理或化学性质。

1.样品可为粉末、块状、薄膜、液体样品。A粉末样品:样品量最好>1g，太少有可能影响准确度。B块状、薄膜样品:尺寸要求:长x宽10x10mm -300x300mm，高<10mm，一定要标明测试面，如无备注则随机选商测试。液体>1mL，样品无挥发性、腐蚀性。

2.试样在X射线照射下应该稳定、不变形、不引起化学变化。

3.可测元素范围：适合无机样品的测试，常规测试范围11Na-92U，部分仪器可以测到C、N、O、F元素，如果需要测到C、N、O、F需要备注好；

4.XRF测试仅能回收没有使用的样品，若样品量较少，一般不能回收；

5.含碳元素含量超过10%的样品，请先将样品烧成灰，再测试；

6.XRF的检测限约200个ppm左右，如果低于这个检测限，不太适合做XRF，对100ppm以下的数据只能作为参考，有的仪器噪声峰都有可能比这个高，请谨慎选择测试方式；

7.由于受XRF光管Rh靶的影响，如若测试含Rh、Ru、In、Pd这类元素需提前说明。