XPS可定性定量分析固体材料表面成分信息（包括元素组成、化学态等），通过聚焦X射线还可以进行微区选区和定位分析从而表征成分的分布情况（最小采谱区域可小于10 μm），所以XPS可被广泛应用于分析合金、矿物、半导体、高分子聚合物、催化剂、硅酸盐陶瓷、生物医药、能源材料等。

微区XPS可以应对从大面积到微区的分析需求，既可以表征表面成分、表面多层薄膜等，又可以对环境颗粒物、表面缺陷（腐蚀、异物、污染、分布不均等）进行微区定位分析，因此对于各种材料开发，材料剖析与失效机理的分析和研究具有不可替代的作用。

1. 预处理尺寸要求：块体/片状/薄膜：长宽厚不超出1 × 1 × 0.3 cm（磁性样品尽量小）（对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记）；粉末样品大于200目，不少于10mg，量少的请用称量纸包好再装到管子里寄。请勿用手触摸样品表面，会引入污染；制好样后请尽快密封，避免其他物质污染；

2. 送样前样品需充分干燥，否则影响仪器真空度；高分子样品在送样前应进行干燥处理；若含有高挥发性分子等，请务必烘烤；

3. 样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统；

4. 样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。