微区XPS可以应对从大面积到微区的分析需求，既可以表征表面成分、表面多层薄膜等，又可以对环境颗粒物、表面缺陷（腐蚀、异物、污染、分布不均等）进行微区定位分析，因此对于各种材料开发，材料剖析与失效机理的分析和研究具有不可替代的作用。

1、块状/薄膜样品：尺寸小于10*10*3mm，最佳尺寸小于5*5*2mm(务必标记测试面）
2、粉末：粉末样品大于200目，不少于10mg
3、样品需导电性良好、表面平整
4、样品含有放射性元素请提前说明
5、不能测试含硫、氟、氯、溴、碘单质等易挥发成分的样品
6、样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体
7、块状/薄膜样品表面请用乙醇擦拭干净或抽真空来样，接触空气容易受C、N、O、si等元素污染，测试结果可能会有误差
8、XPS是高真空环境测试的，送样前样品需充分干燥，否则影响仪器真空度；高分子样品在送样前应进行干燥处理；若含有高挥发性分子等，请务必烘烤
9、样品是用胶带固定到样品台上，回收的样品会有污染或损坏，不建议回收样品!